IXION-193是一款單頻全固態激光器。應用于光學度量,193nm的校準光源,高功率ArF準分子激光器的帶寬控制。該激光器的光譜帶寬接近理論傅里葉極限。
激光器的中心波長可以在190-194nm之間選擇,選擇精度高達0.01nm。
選項:內部集成一個高精度光譜儀,絕對光譜精度高達0.001nm。可實現激光器最大程度的可控性。
應用領域:
· 193nm光學度量
· 光譜儀校準
· 干涉度量分析
· 準分子激光器的種子源
產品特點:
· 工業化應用
· 二極管泵浦
· 密封外殼
· 槽安裝激光二極管
· 光學參數優良
· 功率穩定度高
· 免維護,熱電控制
· 19寸電源和冷卻
· LabVIEW驅動
· 集成光譜儀,實現波長的在線控制(選項)
產品參數:
型號
|
IXION-193 SLM
|
波長
|
193.368nm
|
平均功率
|
>10mW
|
脈寬
|
<10ns
|
單脈沖能量
|
1.6μJ
|
重復頻率
|
6kHz
|
M2
|
<1.6
|
光譜線寬
|
<120MHz = 0.015pm = 0.004cm-1
|
光譜控制
|
>80GHz = 10pm = 2.6 cm-1
|
相干長度
|
>1m
|
系統尺寸(L×W×H),重量:
激光頭
|
795×710×154mm3
|
74kg
|
電源(冷卻裝置)
|
600×600×600mm3
|
45kg
|
電源參數:
